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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試體微缺陷測(cè)試SIRM紅外體微缺陷分析儀

SIRM紅外體微缺陷分析儀

產(chǎn)品簡介

SIRM是非接觸和非破壞型光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,對(duì)體微缺陷,如氧化物和金屬沉淀,位錯(cuò)、堆垛層錯(cuò),體材料中的滑線和空隙等進(jìn)行測(cè)試。

這個(gè)技術(shù)也可對(duì)GaAs 和 InP等復(fù)合材料進(jìn)行測(cè)試。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-04-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:576
詳細(xì)介紹在線留言

Capability:

  • 無需制樣

  • 最小測(cè)試缺陷尺寸10nm

  • 測(cè)試缺陷濃度范圍:105-109cm-3

  • 可做外延片測(cè)試

  • 測(cè)試樣品最大尺寸300mm

SIRM紅外體微缺陷分析儀 SIRM紅外體微缺陷分析儀








上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。


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